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9600 Compressor Installation, Operation, and Maintenance
5 P/N 8040540
Table of Contents (continued)
Section 3 - Installation
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
Supply and Return Water Line Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
Hard Water Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
Flexible Water Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
Electrical Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
Power Cable Preparation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
Phase Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-6
Cryopump Power Phase Switch Setting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7
Connecting/Disconnecting Helium Flex Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7
Connecting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7
Disconnecting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8
Single On-Board Cryopump Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9
Single Cryo-Torr Cryopump Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10
Multiple On-Board Cryopump Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
Helium Line Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
Power Cable Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12
Multiple Cryo-Torr Cryopump Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-13
Helium Line Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-13
Power Cable Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14
Section 4 - Operation
Adjusting System Helium Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Static Helium System Pressure Verification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Compressor Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
Replacement of Helium Circuit Components . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
Section 5 - Maintenance
Scheduled Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
Suggested Maintenance Equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
Adsorber Replacement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
Adjusting System Helium Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
Reducing Helium Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
Increasing Helium Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5
Adding Helium . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5